偏压电源、直流磁控电源、中频电源

中山昊源电器设备有限公司真空电源介绍

 本公司是一家专门从事真空镀膜电源研究、开发和生产应用，集科、工、贸为一体的股份制高新技术企业。公司总部座落在风景秀丽的中山市火炬开发区内，建立了自己的科研、加工、检测、售前售后服务为一体的生产基地，现有厂房占地1000平方米。公司自创办至今，已经成长为能独立设计制造镀膜设备配套的各类大功率逆变开关电源及特种电源设备。研究开发了适应磁控溅射镀膜专用的系列逆变电源：包括大功率溅射电源系统：真空蒸发镀膜电源、中频溅射电源、脉冲溅射电源、直流磁控溅射电源、偏压电源等，现已广泛应用于真空镀膜行业。

公司奉行“以人才信息为资本、以品质和成本作竞争、以开发先进技术和优质服务为基础，变承诺为行动，视用户为上帝”的宗旨，运用现代企业的经营管理机制，采取灵活多变的营销策略，狠抓产品质量和售后服务，重视用户信息反馈。根据用户对设备的使用情况及时改进产品结构，产学研相结合，探索出了一条结合国内外有利因素、合理降低成本、提高产品质量和竞争力的发展途径，改善产品的性能,提高产品市场竞争能力，以一流的产品质量，优质的服务，不断开发新产品，满足用户和市场需求。

本系列大功率电源系统是替换传统可控硅电源理想产品，同等功率下节约电能40%以上。

 一、 主要特点：

1．采用先进的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。
    2．采用先进的DSP控制系统，具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，控制膜厚和减少靶材用量。

3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有极佳的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。

4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。

5．主要参数均可大范围连续调节。

6. 可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。

7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。

二、扩展功能：

1．具备恒定输出功率控制功能。

2．可累计输出功率，掉电后可长期保存。

   3．可累计输出电流，方便用户计算靶材损耗；并可预置电流X时间输出控制。

   4．具备RS485通讯接口功能，方便与PLC或工控计算机实现无误差传输，实现全自动控制。

   5．可预置输出值。

   6．智能报警功能，当输出值与设定值有偏差时，通过声光报警提醒用户。

   7. 开机密码保护功能，可限制无关人员使用本机器。

   8．多级输出功能。可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。

   9．大屏幕液晶中文显示，界面友好，操作方便。

 

三、主要技术参数

1.输入电压： AC380V/3PH+N 50Hz

2.工作效率：≥90%

3．输出电压：0-800V/1000V/1200V 连续可调

4．输出电流：0-20A/40A/60A/80A/100A 连续可调

5．输出纹波：≤（100mv纹 波(rms);≤0.1%）

6．控制精度：≤1%

7. 显示精度：0.1A/1V

8.  控制模式：恒流/恒压/恒功率 可选

9. 外部接口: PLC模拟信号/RS485 可选

10．绝缘电阻：≥200MΩ

11．绝缘耐压：≥1500V/1分钟

12.外壳防护等级:IP21

13.环境温度：0~40℃

14、保护方式：具有过压、过流、缺相、过载等保护功能。告警功能：具有电流告警、短路告警功能。