蓝宝石衬底抛光剂

蓝宝石衬底抛光剂适用于衬底材料如蓝宝石，碳化硅等超硬晶体的表面抛光，使用本抛光剂可以达到良好的抛光效果。本抛光剂采用国际先进技术，从而实现了快速的抛光速率。而且可以保证抛光片的表面粗糙度达到较高的水平。
1、特点
①去除速率高：针对超硬材料而采用cmp前沿技术，提高抛光的效率，节省工艺时间。
②使用方便：本抛光液适用于通用的抛光工艺。
③抛光效果好：抛光表面粗糙度好，无划伤。
2、使用范围及参数
型号    sio2含量ph    平均粒径/nm    主要用途    
p600a    25%    11.0-12.0    50-70    蓝宝石、碳化硅粗抛    
p600b    30%    11.0-12.0    30-50    蓝宝石、碳化硅精抛    
3、使用工艺
抛光剂加入5倍的去离子水，混合均匀，根据实际条件及要求结果调整抛光时间即可。