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  • 供应扩散炉

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    供应扩散炉

    青岛福润德微电子设备有限公司

    山东 青岛

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    扩散氧化系统是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。其组成有：加热炉（扩散炉主机）、净化工作台、送片系统（推拉舟系统）、气源系统、控制系

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